Construção
O método usado para construir o acelerômetro
ADXL150 é o de micro-máquinas de superfície (Surface
micromachining), isto é, a técnica de construir estruturas
m]oveis microscópicas. De fato, alguns pesquisadores já construíram
motores do tamanho da cabeça de um alfinete. Já foram desenvolvidos
manipuladores complexos capazes de agarrar uma única célula
vermelha do sangue.
Micromáquinas de superfície são
diferentes de micromáquinas do tipo "bulk". No processo "bulk" os
peças da máquina são esculpidas no silício
através da retirada de material de um substrato relativamente grosso,
o que o torna impraticável para as demandas de grande volume de
processos. O processo "bulk" é usado para fabricar os acelerômetros
piezorresistivos. O processo de superfície, utilizado para constuir
o ADXL150, consiste no depósito de material em um substrato pequeno,
podendo criar estruturas muito mais intrincadas e precisas. O resultado
são chips tipicamente 20X menores (0.58mm x 0.66mm) que as conseguidas
com o processo "bulk". O processo de micromáquinas de superfície
cria uma estrutura tridimensional, que fica suspensa acima do substrato
e livre para se mover nas três dimensões, como mostrado na
figura 1.
Figura 1: Sensor suspenso acima do substrato.
Devido às pequenas dimensões do chip,
foi possível implementar no mesmo CI todos os circuitos necessários
para condicionamento de sinal e autoteste.
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